真空感應爐碳脫氧反應大氣熔煉碳氧反應對金屬液起著除氣效果和機械攪拌效果，但由于碳的脫氧才干不強，不能獨自用作脫氧劑，往往要用硅、鋁等金屬脫氧劑進行沉淀脫氧。在真空熔煉中，由于氣相壓力低，且碳氧反應生成的CO氣泡可以不斷的被抽走，而使平衡向生成CO的方向移動，即[C]+[O]={CO}反應不斷向右方進行，從而提高了碳的脫氧才干。大量實踐數據標明：真空熔煉與大氣熔煉相比較，碳的脫氧才干約提高100倍。真空熔煉鎳基合金時，將合金的氧含量下降到20×10以下是不難做到的。真空下用碳脫氧，不只具有高的脫氧才干，并且其脫氧產品是氣體，易于掃除，而不沾污金屬熔池，這比用硅、鋁等生成固態脫氧產品的脫氧劑要優越得多，因此在真空熔煉中，碳是抱負的脫氧劑。

真空感應熔煉爐加熱過程中應注意的事項：要防止熱處理產品，特別足銅、鋁、鋅、錫、鉛等與電加熱元件接觸，無論是細粉、熔液或蒸汽等，防止在電加熱體外表腐蝕構成“麻坑”，截面變小，過熱而燒斷。 檢驗爐溫均勻性時，應留心測溫觸點的定位綁縛方法，以及離加熱元件的遠近。

箱式電阻爐爐內常常（至少每月）用毛刷、掃帚或壓縮空氣、吸塵器等清潔爐膛和擱磚，要防止爐內氧化皮等雜質掉在電熱元件上，發生短路，乃至燒壞擱磚。底板、坩堝、爐罐等耐熱鋼構件每運用一段時間，吊起敲擊，鏟除其氧化皮。氧化鐵皮等雜質如不及時鏟除，就會熔融與耐火磚發生反應，使爐絲熔化。 　 

真空感應爐升溫后，不能長期開啟爐門。當溫度高于400℃時，不得急劇冷卻。關于電熱元件在溫度高、冷熱改變大情況下，容易引起氧化掉皮。關于鉬加熱爐，EI常運用保護中留心應冷卻至200℃以下方可停送保護氣。 

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